詳細摘要： EVG101_勻膠機_光刻膠涂膠機基本功能：研發和小規模生產中的單晶圓光刻膠加工,含旋涂和噴涂等工藝
產品型號：所在地：上海更新時間：2022-08-17 在線留言岱美儀器技術服務（上海）有限公司
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詳細摘要： EVG101_勻膠機_光刻膠涂膠機基本功能：研發和小規模生產中的單晶圓光刻膠加工,含旋涂和噴涂等工藝
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詳細摘要： 一、產品特色EVG620NT提供國家的本領域掩模對準技術在蕞小化的占位面積，支持高達150毫米晶圓尺寸
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詳細摘要： 主要用途：用于自動非接觸近距離掩模對準光刻，進行了處理和優化，用于晶圓片的尺寸高達200毫米
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